供高頻 (100千赫以上)感應加熱用的電源設備。其加熱原理同靜止式中頻加熱電源。用于對導體進行感應加熱的高頻電源,其工作頻率大致在0.1~5.0兆赫范圍內。其中0.1~0.2兆赫的電源多用于熔煉導體金屬,如銀、金、鉑等;0.3~0.5兆赫的電源用于鍺、硅及化合物半導體的有坩堝拉晶,以及黑色、有色及稀有金屬的焊接、氣體分析、熱處理等工藝;1~5兆赫的電源用于硅的無坩堝區熔拉晶。 5兆赫以上電源大都用于電介質加熱。這種加熱方式是利用電介質在高頻電場作用下極化了的分子來回扭轉所產生的摩擦熱。它適用于潮濕木材和紙張的干燥,塑料的加熱成形或焊接等。
到20世紀80年代,限于工作頻率較高的固體器件功率較小,工業用高頻加熱電源大都仍采用電子管式高頻振蕩器。它由振蕩管、LC負載振蕩回路、直流電源和反饋回路等組成。從應用觀點出發,它要求電路簡單,容易起振,輸出功率大,效率高;而對電流波形和頻率的穩定性要求不高。因此大多采用自激的電感三點式和變壓器反饋式振蕩器;在介質加熱電源設備中,常用推挽式電路,以提高高頻電壓,加大電場強度,增進介質加熱效果。
目前高頻加熱電源的整機效率很低,一般不足50%。加熱電源的工作頻率與LC負載振蕩回路的諧振頻率的自動跟蹤、高頻電流的高效傳輸、新導磁材料的應用等是提高這類電源效率的途徑。