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按發生部位主要分為整流部分、逆變部分、啟動部分和負載部分。
一、整流部分故障
一般來講，高頻感應加熱電源能正常啟動，但電抗器發出聲音為嘣嘣聲時多為整流部分出現問題，但是爐料過多也會使電抗器發出沉悶的聲音，要正確分析。整流部分主要故障為：由于接觸器接觸不良導致電源缺相，可用萬用表檢測。整流晶閘管的保護快熔燒損導致整流后6個波頭有缺失，電抗器濾波時發出嘣嘣聲。
整流晶閘管本身損壞，主要表現為陰陽極短路或者門極和控制極開路，正常電阻為6～30Ω。用示波器檢測整流脈沖，正常整流脈沖為雙窄脈沖，如果變成了單脈沖或者脈沖寬度不夠，基本為整流脈沖變壓器或者是整流調節板出現問題。
二、逆變部分故障
逆變部分出現故障時電源一般無法啟動或啟動后無法工作，主要故障如下：
①逆變晶閘管損壞?？捎萌f用表檢測，陰陽極電阻無窮大，檢查晶閘管的門極和控制極的電阻，正常為10～30Ω。有時測量時發現兩只損壞，可將一只晶閘管從壓緊銅排上拆除后再進行測量。逆變脈沖變壓器的輸出是否正常，如果逆變脈沖少一路或者沒有，要更換逆變脈沖變壓器，如更換后依然沒有要檢測逆變功放板的輸出脈沖。
三、預充電部分故障
預充電部分故障通常無法正常啟動，主要故障為：預充電回路的晶閘管出現短路故障導致無法進行充電，槽路里沒有能量，可以直接用萬用表測量充電電容兩端，一般電壓為500V，如果沒有電壓可測量預充電晶閘管是否短路。
如果充電電容有電壓，但是并不向槽路里放電，原因可能是晶閘管沒有導通，用示波器檢查觸發回路的脈沖是否正常，檢查接觸器是否卡死。充電電壓低，有時有聲音，檢查充電電容是否有接地。
