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如果高頻感應加熱電源電阻率值低，則流經感應線圈、水冷電纜橡膠管及振蕩管陽極內的冷卻水，流向地線的漏電流變大。從防腐蝕作用考慮，pH值高（弱堿性）有益處。當pH值>7，CaC03等向管內的析出量增加，此析出膜有防腐蝕作用；>8會產生鐵銹；<6會對黃銅產生腐蝕。
全硬度、鈣硬度、鎂硬度，這些值增高，導致管壁附著量增大，因而降低了銅管的熱傳導率。當銅管的溫度升高，結垢會加快，會使通水截面減小，降低水流量。氧消耗量值表示微生物含有量，微生物多時，管內生長藻，易導致管子堵塞，損壞儀器。此值高時，有必要滅菌。
氯離子此值高時，會引起腐蝕破壞，對銅管進行溶解，對鐵管產生銹蝕。如果此值超過50×10-6，有必要用脫離子裝置進行精制。早期的冷卻水系統主要用軟化水，如蒸餾水、池內加散熱器，接上水泵、壓力表管道，即滿足電子管高頻設備的要求。設備冷卻水排水口是外露的，便于觀察及檢查溫度，水箱與管道常采用鐵金屬材料。
維護措施是定期清理水箱雜質，或在水槽設計上分成兩格：一格為沉淀池，接回水管；另一格為潔凈池，接水泵吸水口。兩個格子在上部是相通的，沉淀池的水從上部流到潔凈池。
這種冷卻水系統從20世紀70年代開始已進行了改變。首先是由于可見的排出水內含有空氣，影響冷卻效果。其次是使用鋼材制水槽與鍍鋅鋼管等管件，易導致水中氧化鐵的存在。在進水管過濾器堵塞等故障發生前如何監。
