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高頻加熱電源一般均采用水來進行冷卻，如果供水質量差，就會出現因水質而引起的設備故障，損壞設備，影響生產。所以需注重水質對高頻加熱電源的影響。高頻加熱電源對冷卻水的要求：
1、冷卻水的供水質量和水源指標應達到的要求：水的硬度，要求低于0.17mg/l；水的雜質含量，要求低于17mg/l；水的電阻率，要求不低于4KΩ/cm3；供水壓力，主管道控制在0.2--0.3兆帕。水中含雜質量過多，在電容器，變壓器次級，初級等冷卻管路上，會形成水垢。
2、在管路接頭和彎頭處，更易形成水垢堵塞管路，進而影響元器件的冷卻，損壞功率元器件。水中的雜質過多，硬度過高，意味著水的電阻率趨低。水管阻抗電壓降變小，橡膠或聚乙烯水管的泄露電流也隨之增大。因此也增大了損耗功率，這是極易產生水管對地放電擊穿或水管發熱，加速水管老化，使水管破裂，漏水漏電，產生故障，影響設備運行。
3、供水壓力過大，主要是容易使水管破裂或橡膠管與各銅管接頭容易沖脫，造成故障。隨著近幾年的發展，設備的冷卻方式也有了大的改進?，F在市面上廣泛采用板式換熱器，閉式冷卻塔，空調冷水機等多種的冷卻方式。并且采用軟化水后，水質得到了很好的改善，很大一部分從根本上解決了因為冷卻水給設備運行帶來的故障。
